近日，中微公司宣布其全球第500臺MOCVD設備順利付運國內領先的LED外延片和芯片研發生產制造商。
據悉，本批次運付的第500臺MOCVD設備為中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax®，主要用于氮化鎵基Mini-LED外延片量產。
中微公司介紹，作為專為高性能Mini-LED量產而設計的MOCVD設備，Prismo UniMax®具備高產能和高靈活性的特點，在同一系統中可配備多達4個反應腔，每個反應腔均可實現獨立控制。
同時，Prismo UniMax®配置了785mm大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設計配置，最多可實現同時加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高產能并降低生產成本。
此外，Prismo UniMax®創新的多區輔助加熱調節系統，能精確控制托盤局部區域溫度，有助于更大程度提升LED波長均勻性。
中微公司表示，公司開發的一系列MOCVD設備在行業內主要的LED生產線上已全面投入量產。
Prismo UniMax®是MOCVD設備系列新一代產品，該產品系列還包括Prismo D-BLUE®、Prismo A7®、Prismo HiT3®和Prismo PD5®。
