近日，中微公司宣布其全球第500臺(tái)MOCVD設(shè)備順利付運(yùn)國內(nèi)領(lǐng)先的LED外延片和芯片研發(fā)生產(chǎn)制造商。
據(jù)悉，本批次運(yùn)付的第500臺(tái)MOCVD設(shè)備為中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax®，主要用于氮化鎵基Mini-LED外延片量產(chǎn)。
中微公司介紹，作為專為高性能Mini-LED量產(chǎn)而設(shè)計(jì)的MOCVD設(shè)備，Prismo UniMax®具備高產(chǎn)能和高靈活性的特點(diǎn)，在同一系統(tǒng)中可配備多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔，每個(gè)反應(yīng)腔均可實(shí)現(xiàn)獨(dú)立控制。
同時(shí)，Prismo UniMax®配置了785mm大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設(shè)計(jì)配置，最多可實(shí)現(xiàn)同時(shí)加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高產(chǎn)能并降低生產(chǎn)成本。
此外，Prismo UniMax®創(chuàng)新的多區(qū)輔助加熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)，能精確控制托盤局部區(qū)域溫度，有助于更大程度提升LED波長均勻性。
中微公司表示，公司開發(fā)的一系列MOCVD設(shè)備在行業(yè)內(nèi)主要的LED生產(chǎn)線上已全面投入量產(chǎn)。
Prismo UniMax®是MOCVD設(shè)備系列新一代產(chǎn)品，該產(chǎn)品系列還包括Prismo D-BLUE®、Prismo A7®、Prismo HiT3®和Prismo PD5®。
